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產品分類

三氟化氮

名稱/化學式：三氟化氮/NF3
包裝規格：44L、17L
純度(%)及雜質(ppm)：99.99%
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名稱/化學式：三氟化氮/NF3
包裝規格：44L、17L
純度(%)及雜質(ppm)：99.99%


       三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體，是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

我公司的氣體產品包括：工業氣體和特種氣體。特氣體主要由進口和廠家代理直銷為主，產銷的特氣種類齊全，具有很強的競爭力。至今為止，本公司經營的氣體產品有工業氣體、混合氣體、 超高純氣體、滅菌消毒氣體、照明氣體、標準氣體等八個系列共50多個品種。

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